С помощью конфокальных микроскопов возможно проведение высокоскоростной съемки по осям X, Y, Z. Конфокальные микроскопы Leica также могут работать в режиме интерферометрии и проводить измерения шероховатости с суб-нанометровым разрешением.
Созданная на конфокальном интерферометре Leica 3D модель может быть исследована с помощью программного обеспечения Leica MAP, с измерением профиля всей сканированной поверхности.