Объктив | 2.5x | 5x | 10x HX | 10x | 20x HX | 20x | 50x | 100x | |
Рабочее расстояние | мм | 8.8 | 23.5 | 37 | 17.5 | 30 | 19 | 11 | 4.5 |
Боковой диапазон измерения (X,Y) (X x Y) | мм мм² | 5.63 31.7 | 2.82 7.85 | 1.62 2.62 | 1.62 2.62 | 0.7 0.49 | 0.81 0.66 | 0.32 0.10 | 0.16 0.03 |
Вертикальное разрешение | нм | 2300 | 410 | 250 | 100 | 80 | 50 | 20 | 10 |
Погрешность высоты шага (1 мм) | % | n.a. | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
Мин. измеряемая площадь (опция) | мм² мм² | 10000 40000 | 10000 40000 | 10000 40000 | 10000 40000 | 10000 24780 | 10000 24780 | 3965 3965 | 990 990 |
Мин. измеряемая шероховатость (Ra) | мкм | 7 | 1.2 | 0.75 | 0.3 | 0.24 | 0.15 | 0.06 | 0.03 |
Мин. измеряемая шероховатость (Sa) | мкм | 3.5 | 0.6 | 0.375 | 0.15 | 0.12 | 0.075 | 0.03 | 0.015 |
Мин. измеряемый радиус | мкм | 20 | 10 | 5 | 5 | 3 | 3 | 2 | 1 |
Страна производства: Австрия